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Optino 波前測試技術(shù)與干涉儀技術(shù)對比
Optino 波前測試系統(tǒng)相對于干涉儀的優(yōu)點
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?干涉儀 |
?Optino 波前系統(tǒng) |
| 1 |
購買、運行、維護費用高 |
非常便宜 |
| 2 |
系統(tǒng)體積大，需要大型光學(xué)平臺 |
結(jié)構(gòu)緊湊，普通桌子就可以 |
| 3 |
需要昂貴的隔振平臺 |
非常耐用，無需隔振，普通桌子就可以，即使重擊桌子也不會影響測試結(jié)果或儀器性能 |
| 4 |
需要潔凈室 |
普通干凈的實驗室環(huán)境足夠了 |
| 5 |
需要控制測試現(xiàn)場的氣流 |
可以在緊靠打磨機器工作現(xiàn)場使用 |
| 6 |
需要激光光源 |
普通光源或激光均可 |
| 7 |
由于激光波長范圍有限，只能工作在有限的幾個波長 |
任何波長均可工作，從193nm到1700nm，軟件功能不受波長和配置的影響 |
| 8 |
僅限于測試平面、球面及淺度非球面測試 |
可以測試深度非球面元件（球形失常值達50λ） |
| 9 |
不能測試非規(guī)則形狀元件 |
可以測試非規(guī)則元件，如柱面鏡 |
| 10 |
動態(tài)范圍受CCD探測器上干涉條紋限制， |
方法本身具有高動態(tài)特性 |
Optino? vs Zygo Interferometer
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通過使用Zygo GPI xp HR干涉儀和Spot-Optics公司的Optino 波前測試系統(tǒng)對一個硬盤上小面積(7mm)區(qū)域，進行測試對比。
右圖白色圓圈位置的區(qū)域即為測試區(qū)域，是一個平整的表面，測試的波長為632nm,下圖為主要測試得到的參數(shù)對比：
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? |
?去除了傾斜(Tilt), Piston and?散焦 (defocus)影響后的表面3D形貌圖（ Zygo ）
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?去除了傾斜和散焦的3D表面形貌圖(Optino) |
Optino? vs Veeco Interferometer
- A small area (9mm) of a flat mirror was tested using a high?
resolution Veeco interferometer.
- The same area was tested with our standard instrument Optino/Sensoft mounting a cooled CCD camera.
-Both the tests were done at 632.8nm
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| Veeco |
Optino |
更多信息請瀏覽：? Accuracy of SpotOptics wavefront sensors.pdf
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解決方案
